信息与控制

作者：潘春荣, 周浩, 熊文清, 崔煜, 罗继亮

关键词：晶圆制造, 双组合设备, 全并行加工, Petri网, 时间约束

在半导体晶圆制造中，违反驻留时间约束会导致晶圆损坏，同时，双组合设备涉及两个设备间的资源协调配合，使得调度更加复杂。本文考虑晶圆驻留时间约束，研究了配置全并行加工模块的双组合设备的稳态协同调度问题。首先，构建面向资源的Petri网模型，描述了具有驻留时间约束和全并行加工模块的双组合设备的稳态加工过程，提出控制策略防止系统发生死锁；其次，通过分析加工模块的负载和机械手的任务过程，得到了机械手无任务冲突的条件；针对任务冲突的情况，推导出系统的可调度条件，并开发了两个算法求解系统的稳态周期时间和可行的机械手调度方案；最后，通过实例来验证算法的可行性与有效性。

来源：2024年第6期

《信息与控制》期刊编辑部

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