信息与控制

作者：李志航, 杨志家, 崔书平, 魏浩东

关键词：光刻胶边缘修复(EBR), 自动光学检测, 集成电路, 机器视觉, 贝叶斯分类器

针对光刻胶边缘修复(edge bead removal，EBR)检测面临的电路图案与工艺残留的干扰、晶圆外观与轮廓形状的差异、多层EBR中指定层的区分等问题，提出了一种基于机器视觉的晶圆边缘检测方法。首先通过线阵相机采集高质量的晶圆边缘图像，然后为图像的每列初始化一个分割点，并使之逐步搜索靠近EBR，待分割点收敛后即完成检测。该方法通过迭代策略将轮廓检测问题转化为像素分类问题，并结合贝叶斯分类器与约束机制避免了复杂图案与外观差异等因素的影响，从而快速准确地检测各类指定EBR，也为类似问题提供了新的视角和方法。实验表明，对于5 000×600像素的高清图片，所提算法检测时间在200 ms以内，检测偏差在30 μm以内。其相较于已有方法可实现复杂晶圆的EBR检测，且时间与精度均可满足工业要求，目前已应用于沈阳芯源微电子设备股份有限公司的自动光学检测(automatic optical inspection，AOI)设备中。

来源：2025年第3期

《信息与控制》期刊编辑部

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